清华大学微纳加工平台作为清华大学的校级开放共享服务平台，是服务学校建设有中国特色世界顶级一流大学的目标、瞄准世界微纳加工技术前沿、致力于在国内外原创成果实现重大突破的开放性科研和教学实践育人平台。

微纳加工平台坚持党支部引领，在平台党支部带领下开展了一系列卓有成效的工作。2019年，微纳加工平台党支部被评为清华大学先进党支部，平台支部立项开展的党建特色活动连续三年被评为清华大学特色活动优秀成果奖，平台也陆续获得“校级先进集体”、“开放服务集体奖”、“清华大学实验室建设与管理集体一等奖”等多个荣誉奖项。

平台加工测试能力

平台超净面积约1200平方米，支持校内外师生在多领域、交叉学科开展前沿科学研究和技术开发。平台软硬件环境主要包括设计与仿真平台、工艺设备、测试设备三大类，拥有200多台/套微纳加工测试仪器设备，具备氧化、化学气相沉积、物理气相沉积、化学机械抛光、光刻、电子束光刻、湿法刻蚀、干法刻蚀、封装与集成、检测与分析等完整工艺流程。

用户登记

平台培训

加工测试

取得成果

平台开放服务

平台实行7天24小时开放服务，每年大型仪器设备对外开放服务机时达2万小时，在平台开展研究工作的课题组数量100多个。平台不断研究开发新工艺，满足用户不同学科方向的加工测试需求，众多用户通过微纳加工平台获得了一批显著的科研成果，在学术领域和产业界产生了较大的影响。

在教学方面，平台支持“微纳电子材料器件分析技术”“CMOS集成电路制造技术”“集成电路制造与生产管理”“智能传感器与现代生活”等课程的开展，开设了本科生“微电子工艺实验”课程和“MEMS工艺实验”课程。

每年暑假，平台提供多个实习岗位，支持本科生暑期实习。

微纳加工平台不断搭建高精尖设备实验条件，建立专业化人才支撑队伍，汇聚国内外尖端科研人才到平台开展研究实验，努力建设成为世界一流的开放共享微纳技术平台！