清华举办2015年中国平坦化技术大会暨海峡两岸平坦化技术论坛

  清华新闻网6月2日电 (通讯员 王同庆)5月28日、29日,由中国平坦化技术联盟主办、清华大学承办的2015年中国平坦化技术大会暨海峡两岸平坦化技术论坛在清华大学举行。平坦化技术相关领域的专家、学者和研究生一百余人参加了此次大会。

  清华大学校长助理、机械工程学院院长尤政院士,中国半导体行业协会执行副理事长、秘书长徐小田,国家自然科学基金委工程与材料科学部常务副主任黎明,清华大学机械系主任、国际摩擦学会副主席雒建斌院士出席开幕式并致辞。大会由会议主席、中国平坦化技术联盟主席、清华大学机械系路新春教授主持。

尤政致辞。

  在为期两天的会议议程中,台湾科技大学陈炤彰教授、华侨大学副校长徐西鹏教授、国防科技大学戴一帆教授等专家、学者和业界代表为大家做了35场学术报告。此外,还有22位与会者进行了张贴交流。各界专家学者围绕平坦化技术的机遇和挑战,就CMP前沿技术、抛光工艺与后清洗、CMP耗材、CMP机理与仿真、硬质材料CMP等重要议题,分享研究和思考取得了一系列重要的交流成果。

论坛现场。

  本次会议设立了优秀报告奖,通过表彰在学界和业界的创新思想与研究,推动平坦化技术研究和应用不断进步。经过专家认真评选,最终评出优秀报告3篇。闭幕式上,路新春为优秀报告获奖者颁奖。

供稿:机械系   学生编辑:长 松

2015年06月02日 11:27:43  清华新闻网

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