美国LAM Research公司向清华微电子所捐赠设备并设立奖学金

  清华新闻网12月10日电 12月5日下午,美国LAM Research公司向清华大学捐赠半导体工艺设备及奖学金颁奖仪式在清华大学微电子所举行。仪式之后,清华大学副校长姜胜耀与LAM Research公司首席运营官蒂姆·阿彻(Tim Archer)一行在工字厅进行了会谈。

图为姜胜耀(右)与Tim Archer(左)互赠礼品。

  姜胜耀代表清华大学对Tim Archer一行到访表示欢迎,并对LAM Research公司为学校捐赠设备和设立奖学金表示感谢,同时表示双方要进一步拓展合作领域,推动双方合作关系不断深化发展。Tim Archer介绍了该公司开展半导体设备开发的业绩,希望与清华大学发展长期友好合作关系。

  仪式上,蒂姆·阿彻和清华实验室与设备处处长武晓峰分别致辞。微纳电子系系主任\微电子所所长魏少军介绍了清华大学微电子所和Lam公司的合作渊源以及此次活动的意义。

  Lam公司的亚太区总裁廖振隆为获得Lam奖学金的同学颁奖。学生获奖代表进行了发言。之后,蒂姆·阿彻一行参观了微纳电子技术支撑平台。

图为廖振隆(左四)为获奖学生颁发证书。

  此次Lam Research公司向清华大学微电子所捐赠的刻蚀设备为Rainbow 4420XL干法刻蚀系统,用于SiO、SiN等介质的干法刻蚀。该系统具有自动传片功能,适用于8英寸硅片工艺,采用非接触式光学方式进行硅片的晶向对准,陶瓷静电卡盘由背面氦气冷却,主刻蚀腔接6路标准质量流量计,并可以扩展为8路,具有刻蚀终点检测功能。这设备的捐赠将进一步提高微纳电子技术支撑平台的工艺加工水平。

  Lam Research 公司为鼓励清华大学的学生从事半导体及相关设备技术之研发,以提升我国在此领域的科技水准和培养优秀科技人才,特在清华大学微电子与纳电子学系设立Lam Research-清华大学微纳电子论文奖。参评论文的内容与集成电路直接相关。该论文奖每年评选一次,每次设一等奖2篇、二等奖6篇、三等奖9篇。2013年共奖励17名论文上有突出成绩的研究生。 

  美国LAM Research是国际最大的半导体设备公司之一,以半导体薄膜的制备、刻蚀和清洗设备而知名。

  清华大学实验室设备处、教育基金会、微电子所等相关部门负责人参加了仪式。

供稿:微电子所  编辑:范 丽

2013年12月10日 10:41:37  清华新闻网

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