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诺发公司向清华微电子所捐赠CMP设备

  【新闻中心讯】为支持清华微电子研究所的研究和教学计划,全球半导体行业领先企业诺发系统有限公司(Novellus Systems Inc),向微电子所捐赠了一台200毫米化学机械平坦化(CMP,即chemical mechanical planarization)设备。捐赠仪式及技术研讨会于3月24日上午在主楼接待厅举行。

  捐赠仪式上, 诺发公司总裁Richard S. Hill表示,诺发希望与清华大学发展长期友好合作关系。信息学院副院长李艳和介绍了清华微电子研究的发展状况。

  在其后的技术研讨会上,诺发的3位高级工程师介绍了CMP设备的特点和功能及微电子工艺设备的最新发展,并与在座的清华师生共同探讨了微电子工艺发展的现状和面临的挑战。

  这套CMP设备将使我校师生能够在微电子加工工艺流程中探索新的工艺步骤,从而为微电子所发展晶圆加工方面的研究带来很大的便利。(微电子所研会 供稿 编辑 襄桦)

2006年03月29日 09:28:56  清华新闻网

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